미세 패턴 제어 기술(기사 요약)

미세 패턴 제어 기술(기사 요약)

https://news.v.daum.net/v/20200623120222498

제목 : “차세대 반도체 공정에 적용”..UNIST, 미세 패턴 제어기술 개발

출처 : 연합뉴스

요약 : 울산과학기술원에서 연구진이 차세대 반도체를 더 빠르고 더 저렴하게 만드는 공정을 개발하는데 성공했다. 김소연 에너지 및 화학공학부 교수는 나노 모자이크 코딩을 이용해서 불록 공중합체의 복잡한 패턴을 제어 할 수 있는 기술을 개발했다고 밝혔다. 반도체와 같은 미세 소자는 강한 빛을 이용해서 기판에 회로를 그리는 리소그래피 공정을 이용해서 제작한다. 더 성능이 좋은 전자기기를 만들려면 반도체의 크기가 작아져야 한다. 또한 회로의 폭도 더 가늘어져야 한다. 그러나 현재의 기술로는 10나노미터 보다 얇게 만들 수 없다. 공정비용이 많이 들고 많은 화학 약품을 사용한다는 문제도 있다. 블록 공중합체는 박막 상에서 자기 조립을 통해서 스스로 주기적인 나노 패턴을 만들기 때문에 10나노미터 이하의 초미세 패턴도 만들 수 있다.한지만 공중 불록 합체를 위해서는 박막과 기판 사이의 계면 조건이나 박막의 표면 조건을 정확하게 통제해야 한다는 한계가 있다. 연구진은 고분자의 용액을 물 표면에 떨어뜨리면 생기는 나노 모자이크에 불록 공중합체를 올려서 원하는 패턴을 만드는 방식이다. 나노 모자이크 코팅은 박막 계면 조절 방식보다 간단해서 앞으로 다양한 시스템의 계면 조절에 기대가 되고 있다.

한 줄 요약 : 울산과학기술원에서 더 단단하고 빠른 반도체 공정기법인 나노 모자이크 코팅 기술을 개발했다.

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